工業(yè)測量顯微鏡廣泛應用于許多行業(yè),特別是在電子行業(yè),觀察電路板的結構,準確測量距離儀器。關于顯微鏡測量的基本知識,今天就和大家談談。
走進顯微鏡的世界
首先,我們從顯微鏡的主要成分和光路開始
上圖還提到了顯微鏡的三種照明方法。不同的照明方法和不同的觀察圖像,因此有必要根據不同的工件和測量位置選擇最合適的照明方法。
散射照明
選擇通過輪廓光觀察的方法,特別是在觀察和測量輪廓時,邊緣清晰易觀察。
反射照明
用于觀察和測量表面特射測量工件的表面特性。
外部照明(環(huán)形光纖·環(huán)形LED·雙光纖)
用斜射光直接測量工件表面,可實現(xiàn)三維、良好的顏色重復觀察。
使用顯微鏡時,您可能會遇到顯微鏡的專業(yè)術語。
綜合放大倍率
綜合放大倍率=x物鏡倍數(shù)目鏡倍數(shù)。
例:使用10x目鏡和100x物鏡組合時,觀察圖像的綜合放大倍率=10x100=1000x。
視場數(shù)F.N
指目鏡能否在廣視線中觀察指標。F.N=FieldNumber
安裝1x物鏡時,目鏡觀察到的圖像直徑為24mm
實視場FOV
是指工件的實際范圍。FOV:FieldOfView
在分劃板上(顯像鏡頭焦點位置)通過物鏡和顯像鏡頭的光顯像,
觀察被目鏡放大的圖像。
PC顯示倍數(shù)(TV綜合倍數(shù))
PC顯示屏倍數(shù)(TV綜合倍數(shù)是指相機拍攝元件對角線的長度PC顯示屏對角線的長度比。當顯微鏡通過時CCD當設備連接到計算機進行顯像觀察時,需要評估顯示屏倍數(shù)。
PC顯示屏倍數(shù)(TV綜合倍數(shù)的計算公式如下:
小測試題:
提問:使用10×物鏡?2/3英尺CCD相機?17英寸顯示器TV綜合倍數(shù)是多少?
解答:TV綜合倍數(shù)=10×39.3=393×(大概400倍)
工作距離WD
聚焦時物鏡頭頭頂部到檢查材料表面的距離。工作距離越長,聚焦時操作性越好,不用擔心鏡頭會遇到檢查對象。WD:WorkingDistance
工作距離示意圖
齊焦距離PFD
從物鏡安裝位置到聚焦時檢查材料表面的距離。PFD:ParFieldDistance
倍數(shù)不同,但從物鏡安裝面到檢查材料表面的距離不變,
所以變倍數(shù)時不需要再對焦。
焦點距離FD
焦點距離是指鏡頭(主點)到焦點的距離。FD:FocusDistance
焦點深層DOF
聚焦后,聚焦位置前后移動,前后移動范圍前后移動范圍。DOF:DepthOfFocus
照片高倍率鏡頭倍數(shù)越大越深越淡(短)
低倍數(shù)鏡頭倍數(shù)越小越深(長)
在人眼分辨率以下(約0.1-0.3mm)顯微鏡的觀察方法有哪些?
明視場觀察
適用于金屬、印刷電路板、淺孔的表面觀察。
暗視場觀察
根據觀察工件發(fā)出的散射光,可以觀察明視場下無法觀察到的劃痕、灰塵、凹凸和低反射工件。
偏光觀察
適用于半導體材料、液晶、結晶、金屬組織、礦物等表面觀察。